手動探針臺用途:
探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。 廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。
半導(dǎo)體實驗室
手動探針臺的主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺,探針臺可吸附多種規(guī)格芯片,并提供多個可調(diào)測試針以及探針座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對芯片進(jìn)行科研分析,抽查測試等用途。
手動探針臺應(yīng)用領(lǐng)域:
Failure analysis 集成電路失效分析
Wafer leve reliability晶元可靠性認(rèn)證
Device characterization 元器件特性量測
Process modeling塑性過程測試(材料特性分析)
IC Process monitoring 制成監(jiān)控
Package part probing IC封裝階段打線品質(zhì)測試
Flat paneprobing 液晶面板的特性測試
PC board probing PC主板的電性測試
ESD&TDR testing ESD和TDR測試
Microwave probing 微波量測(高頻)
Solar太陽能領(lǐng)域檢測分析
LED、OLED、LCD領(lǐng)域檢測分析
手動探針臺的使用方式:
1.將樣品載入真空卡盤,開啟真空閥門控制開關(guān),使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。
2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺,在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。
3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點移動至顯微鏡下。
4.顯微鏡切換為高倍率物鏡,在大倍率下找到待測點,再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y,將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測點在顯微鏡視場中心。
5.待測點位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調(diào)旋鈕,慢慢將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢,以防動作過大誤傷芯片,當(dāng)探針針尖懸空于被測點上空時,可先用Y軸旋鈕將探針退后少許,再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針,zui后則使用X軸旋鈕左右滑動,觀察是否有少許劃痕,證明是否已經(jīng)接觸。
6.確保針尖和被測點接觸良好后,則可以通過連接的測試設(shè)備開始測試。常見故障的排除 當(dāng)您使用本儀器時,可能會碰到一些問題,下表列舉了常見的故障及解決方法。