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適用于:晶圓廠、研究所、高校等對IGBT、FRD、高壓大電流測試、太陽能電池測試、二極管晶體管測試、背電極測試等。

樣品吸盤可四自由度移動，方便掃描和對焦，隔振底座設計，利于精細測量。

HGPS200 探針臺：

平面度高:精磨鐵磁不銹鋼臺面

結構緊湊:整體設計

測試直觀:三目體式顯微鏡

測試靈活:吸盤氣孔獨立控制

HGPT-PS200多功能隔振磁吸工作臺：

底座可單獨采購使用

方便自由搭建

各類探針測量實驗系統或其他實驗平臺系統

手動精密隔振探針臺采用隔振支架設計底座實現精細測量

使用隔離支架時，1微米探針針尖無抖動，清晰可見，普通剛性支架明顯有抖動。