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產品特點:

 X、Y軸:

導軌為交叉滾柱配合V形鋼導軌，精度更高，承載較大，壽命長側邊驅動:測微頭在平移臺側邊放置，操作方便，節省空間采用彈簧復位，消除軸向間隙

臺面和底座分布標準孔距的安裝孔，方便安裝和組合。

Z軸:

采用楔形結構，最小刻度和靈敏度提高一倍;

導軌為線性鋼球配合精磨V形鋼導軌，精度高，承載大;

測微頭驅動，定量讀數:

θXθY軸:

提供雙軸傾斜調整;

測微頭驅動，高品質碟形彈簧復位，穩定性好;

點線面結構設計，穩定，重復性好;

θZ軸:

精密軸系設計，精度高，穩定性好；

臺面可以360°旋轉調整，圓周360°刻劃，方便讀數；

可采用測微頭進行一定范圍的微調，彈簧復位，分辨率高，無空回；

上下部均有標準孔距的連接孔，方便與其他位移臺連接，組成多維移動臺。

產品特點:

 X、Y軸:

導軌為交叉滾柱配合V形鋼導軌，精度更高，承載較大，壽命長側邊驅動:測微頭在平移臺側邊放置，操作方便，節省空間采用彈簧復位，消除軸向間隙

臺面和底座分布標準孔距的安裝孔，方便安裝和組合。

Z軸:

采用楔形結構，最小刻度和靈敏度提高一倍;

導軌為線性鋼球配合精磨V形鋼導軌，精度高，承載大;

測微頭驅動，定量讀數:

θXθY軸:

提供雙軸傾斜調整;

測微頭驅動，高品質碟形彈簧復位，穩定性好;

點線面結構設計，穩定，重復性好;

θZ軸:

精密軸系設計，精度高，穩定性好；

臺面可以360°旋轉調整，圓周360°刻劃，方便讀數；

可采用測微頭進行一定范圍的微調，彈簧復位，分辨率高，無空回；

上下部均有標準孔距的連接孔，方便與其他位移臺連接，組成多維移動臺。

產品特點:

 X、Y軸:

導軌為交叉滾柱配合V形鋼導軌，精度更高，承載較大，壽命長側邊驅動:測微頭在平移臺側邊放置，操作方便，節省空間采用彈簧復位，消除軸向間隙

臺面和底座分布標準孔距的安裝孔，方便安裝和組合。

Z軸:

采用楔形結構，最小刻度和靈敏度提高一倍;

導軌為線性鋼球配合精磨V形鋼導軌，精度高，承載大;

測微頭驅動，定量讀數:

θXθY軸:

提供雙軸傾斜調整;

測微頭驅動，高品質碟形彈簧復位，穩定性好;

點線面結構設計，穩定，重復性好;

θZ軸:

精密軸系設計，精度高，穩定性好；

臺面可以360°旋轉調整，圓周360°刻劃，方便讀數；

可采用測微頭進行一定范圍的微調，彈簧復位，分辨率高，無空回；

上下部均有標準孔距的連接孔，方便與其他位移臺連接，組成多維移動臺。

適用于:晶圓廠、研究所、高校等對IGBT、FRD、高壓大電流測試、太陽能電池測試、二極管晶體管測試、背電極測試等。

樣品吸盤可四自由度移動，方便掃描和對焦，隔振底座設計，利于精細測量。

HGPS200 探針臺：

平面度高:精磨鐵磁不銹鋼臺面

結構緊湊:整體設計

測試直觀:三目體式顯微鏡

測試靈活:吸盤氣孔獨立控制

HGPT-PS200多功能隔振磁吸工作臺：

底座可單獨采購使用

方便自由搭建

各類探針測量實驗系統或其他實驗平臺系統

手動精密隔振探針臺采用隔振支架設計底座實現精細測量

使用隔離支架時，1微米探針針尖無抖動，清晰可見，普通剛性支架明顯有抖動。